主要功能：本设备主要采用机械臂搬运方式，通过对硅片腐蚀、漂洗等方式进行处理，从而达到一个用户要求的清洗效果。设备两工位单独控制，相当于两台独立蚀刻机。互不影响。 设备型号：ZG20131230001-01 整机尺寸(参考)：2300mm（L）×1200mm(W)×1850mm(H)；...